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Two Dimensional Array of Piezoresistive Nanomechanical Membrane-Type Surface Stress Sensor (MSS) with Improved Sensitivity

机译：具有改进灵敏度的压阻式纳米机械膜式表面应力传感器（mss）的二维阵列

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Nico F. de Rooij; Peter Vettiger; Tomonobu Nakayama; Sebastian Gautsch; Kota Shiba; Frederic Loizeau; Terunobu Akiyama; Genki Yoshikawa; Masakazu Aono;
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年度 2012
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1. Two Dimensional Array of Piezoresistive Nanomechanical Membrane-Type Surface Stress Sensor(MSS) with Improved Sensitivity [J] . Frederic Loizeau, Genki Yoshikawa, Kota Shiba, Sensors . 2012,第11期

机译：具有改进灵敏度的压阻纳米机械膜型表面应力传感器的二维阵列
2. Double-side-coated nanomechanical membrane-type surface stress sensor (MSS) for one-chip-one-channel setup [J] . Yoshikawa G., Loizeau F., Lee C.J.Y., Langmuir: The ACS Journal of Surfaces and Colloids . 2013,第24期

机译：双面涂层纳米机械膜型表面应力传感器（MSS），用于单芯片单通道设置
3. Double-side-coated nanomechanical membrane-type surface stress sensor (MSS) for one-chip-one-channel setup [J] . Yoshikawa G., Loizeau F., Lee C.J.Y., Langmuir: The ACS Journal of Surfaces and Colloids . 2013,第24期

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4. Piezoresistive membrane-type surface stress sensor arranged in arrays for cancer diagnosis through breath analysis [C] . Loizeau Frederic, Lang Hans Peter, Akiyama Terunobu, IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2013

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5. An Investigation of Using n-Si Piezoresistive Behavior to Develop a Three-Dimensional Stress Sensing Rosette. [D] . Gharib, Hossam Mohamed Hamdy. 2013

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6. Two Dimensional Array of Piezoresistive Nanomechanical Membrane-Type Surface Stress Sensor(MSS) with Improved Sensitivity [O] . Genki Yoshikawa, Terunobu Akiyama, Frederic Loizeau, 2012

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7. Two Dimensional Array of Piezoresistive Nanomechanical Membrane-Type Surface Stress Sensor (MSS) with Improved Sensitivity [O] . Nico F. de Rooij, Peter Vettiger, Tomonobu Nakayama, 2012

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8. Two-Dimensional Array of Coupled Nanomechanical Resonators. [R] . Zalalutdinov, M. K., Baldwin, J. W., Marcus, M. H., 2006

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